関西学院大学 研究活動情報

Kwansei Gakuin University Research Activities

UVレーザーマーカー(2022年度研究装置・設備購入制度にて導入)による研究活動内容

2023.05.29

その他 Others

 2022年度研究装置・設備購入制度により工学部尾崎壽紀研究室にUVレーザーマーカーを導入した。UVレーザーマーカーは、超伝導膜の通電特性を測定するためのマイクロブリッジ加工を行う装置である。
 本装置によるレーザーエッチングは、レーザーを試料に照射し、エネルギーを与えることで試料の薄膜を離脱させ物理的にエッチングを行う方法である。本装置を用いることで、試料にダメージを与えることなく、短時間でマイクロブリッジを作製することが可能になる。本装置を用いて、試料をマイクロブリッジ状に加工を施し通電することにより、少ない電流量での測定を可能にし、同時に通電による発熱を抑えることができる。
 
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